公开/公告号CN107148462B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-07-02
原文格式PDF
申请/专利权人 乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司;
申请/专利号CN201580047123.3
申请日2015-08-12
分类号C10L3/10(20060101);B01D53/22(20060101);
代理机构11247 北京市中咨律师事务所;
代理人彭立兵;林柏楠
地址 法国巴黎
入库时间 2022-08-23 12:04:20
机译: 用于形成光刻的下衬膜的材料,用于形成光刻的下衬膜的组合物,用于光刻的下衬膜及其生产方法,图案形成方法,树脂和纯化方法
机译: 化合物,树脂,用于光刻的下膜形成材料,用于形成光刻的下膜的组合物,用于光刻的下膜和抗蚀剂图案形成方法,电路图案形成方法和纯化方法
机译: 化合物,树脂,用于光刻的下膜形成材料,用于形成光刻的下膜的组合物,用于光刻的下膜,抗蚀剂图案形成方法,电路图案形成方法以及化合物或树脂纯化方法