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一种含双抛物面镜动态聚焦模块的三维扫描系统

摘要

本发明公开了一种含双抛物面镜动态聚焦模块的三维扫描系统,所述的含双抛物面镜动态聚焦模块的三维扫描系统由双抛物面镜动态聚焦模块、激光扩束和聚焦透镜组以及激光二维扫描模块组成。本发明采用由双抛物面反射镜以及动平面反射镜组成的动态聚焦模块实现聚焦光斑沿光轴的位置变化,进而通过激光扩束和聚焦透镜组后的二维扫描模块实现三维激光扫描。所述的动态聚焦模块中包含两个动平面反射镜,通过改变其转角即可改变动态聚焦模块出射光的发散角,进而可改变经过激光扩束和聚焦透镜组变换后的聚焦光斑的位置。本发明中的双抛物面镜动态聚焦模块和激光二维扫描模块中使用性能一致的旋转电机部件,可实现聚焦光斑在三维空间内的高速、同步定位。

著录项

  • 公开/公告号CN112068309B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-07-02

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 清华大学;

    申请/专利号CN202010936660.6

  • 发明设计人 张震;余良;

    申请日2020-09-08

  • 分类号G02B26/10(20060101);G02B26/08(20060101);

  • 代理机构11250 北京三聚阳光知识产权代理有限公司;

  • 代理人张建纲

  • 地址 100084 北京市海淀区清华园1号

  • 入库时间 2022-08-23 12:03:33

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