一种基于碳纳米管的X射线源及其制备方法

摘要

本发明实施例提供了一种基于碳纳米管的X射线源及其制备方法，通过第一金属球从碳纳米管生长基底上吸附预先分立的碳纳米管并将其转移至电子源通孔内，相比通过墨水转移碳纳米管的方法，避免了转移过程中碳纳米管的污染；通过第二金属球与密封通孔周边阴极电极的键合构成了X射线源的密封结构，便于规模化实现器件的密封；第一、第二金属球通过引线键合过程制备，引线键合过程为标准化过程，所使用的仪器也是标准化设备，通过第一金属球吸附碳纳米管实现碳纳米管的转移，能够将碳纳米管的转移过程标准化，而通过第二金属球制备密封结构，能够将器件真空封装过程规模化，有利于实现整个X射线源生产过程的标准化，具备规模化应用前景。