公开/公告号CN109884157B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-06-15
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院大连化学物理研究所;
申请/专利号CN201711273062.X
申请日2017-12-06
分类号G01N27/62(20210101);
代理机构21002 沈阳科苑专利商标代理有限公司;
代理人马驰
地址 116023 辽宁省大连市中山路457号
入库时间 2022-08-23 11:58:04
机译: 动态范围宽的离子能量偏置控制,快速的离子能量切换,离子能量控制和脉冲偏置电源以及虚拟前面板
机译: 动态范围宽的离子能量偏置控制,快速的离子能量切换,离子能量控制和脉冲偏置电源以及虚拟前面板
机译: 宽动态范围离子能量偏置控制;快速离子能量切换;离子能量控制和脉冲偏置电源;和虚拟前面板