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基于波登管作为换能器的光纤光栅传感器及方法

摘要

本发明涉及传感器技术领域,特别是一种基于波登管(又叫弹簧管)作为换能器的光纤光栅传感器及方法。主要包括一个波登管压力换能器,一个光纤光栅悬臂梁,光纤耦合器,传输光纤,封装外壳及各部件的紧固定位器件、密封器件。在介质压力的作用下,弹簧管在内部压力的作用使其断面极力倾向变为圆形,迫使弹簧管的自由端13产生移动,这一移动通过连接点13传递给悬臂梁14并使之产生挠曲变形,粘贴在悬臂梁14上下表面的光纤光栅4、5分别受到所处面产生的拉应变或者压应变ε,引起光纤光栅的Bragg波长的漂移,通过检测两个光纤光栅相应的波长变化即可知道待测压力和温度大小。

著录项

  • 公开/公告号CN100460825C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2009-02-11

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;

    申请/专利号CN200510109333.9

  • 发明设计人 王永杰;李芳;刘育梁;

    申请日2005-10-13

  • 分类号G01D5/26(20060101);G01D5/353(20060101);

  • 代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人段成云

  • 地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号

  • 入库时间 2022-08-23 09:01:42

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2011-01-05

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01D 5/26 授权公告日:20090211 终止日期:20091113 申请日:20051013

    专利权的终止

  • 2009-02-11

    授权

    授权

  • 2007-06-13

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2007-04-18

    公开

    公开

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