一种基于PEDOT：PSS电化学晶体管的微流控芯片及其制备方法

摘要

本发明属于微流控芯片的技术领域，具体涉及一种集成PDEOT：PSS电化学晶体管的微流控芯片及其原位制备方法；所要解决的技术问题为：提供一种兼具成本优势与性能优势的PEDOT：PSS电化学晶体管的微流控芯片及其制备方法；解决该技术问题采用的技术方案为：芯片包括基底，基底的上层沉积有导线层，导线层内部设置有电气连接线和基片pad；导线层的上层还沉积有绝缘层，绝缘层上设置有电极窗口；绝缘层上还沉积有微电极，微电极的一端裸露在绝缘层上，微电极的另一端穿过电极窗口与导线层连接；微电极包括源极、栅极、漏极；基底、导线层、绝缘层、电极窗口、微电极共同构成基片，基片与PDMS盖片通过机械或者物理化学方法键合在一起；本发明应用于电化学晶体管的微流控芯片制备。