一种近距离不同表面平行状态的光学检测装置及检测方法

摘要

本发明公开了一种近距离不同表面平行状态的光学检测装置结构，包括：载物台；设置在所述载物台上支杆；安装于所述支杆中的导光管；设置在所述导光管一端内部的光源发生器；设置在所述导光管与光源发生器相对的另一端的45度半透半反棱镜；设置在所述45度半透半反棱镜下方的可调光阑；以及用于承载基准表面和或待测表面的表面平行调节结构。