用于加热坩埚的加热器设备和用于蒸发或升华材料的系统

摘要

本发明涉及用于加热坩埚的加热器设备、其操作方法和用于容纳且加热待蒸发或升华的材料的坩埚。该坩埚具有底表面和至少一个侧表面。加热器设备包括至少一个电阻底部加热器用于坩埚的底表面，和至少一个电阻侧部加热器用于坩埚的每个侧表面。加热器中的至少一个加热器包含适合于将不同量的热能引入到坩埚的各个表面的不同部分的不同的加热段。此外，所述坩埚包括：至少一个槽凹陷，该至少一个槽凹陷适合于接收待蒸发或待升华的材料；至少一个坩埚壁，该至少一个坩埚壁从坩埚的第二表面延伸到槽凹陷内；以及至少一个底部凹陷，该至少一个底部凹陷形成在坩埚壁内。底部凹陷适合于接收壁加热器。