公开/公告号CN111341781B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-06-04
原文格式PDF
申请/专利权人 长江存储科技有限责任公司;
申请/专利号CN202010159529.3
申请日2018-05-16
分类号H01L27/11524(20170101);H01L27/11551(20170101);H01L27/1157(20170101);H01L27/11578(20170101);
代理机构11376 北京永新同创知识产权代理有限公司;
代理人杨锡劢;刘柳
地址 430223 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
入库时间 2022-08-23 11:53:53
机译: 在不同图案密度区域解决外延生长负载效应的方法
机译: 解决不同图案密度区域外延生长负荷效应的方法
机译: 解决不同图案密度区域的表观生长负荷效应的方法