一种利用飞秒激光加工不同形状亚波长周期结构的方法和装置

摘要

一种利用飞秒激光加工不同形状亚波长周期结构的方法和装置。亚波长周期结构由于其具有传统材料不具备的特有性质而受到广泛关注，比如负折射率、全吸收等，随着技术的进步这种结构逐渐向着近红外、可见光方向发展，这要求周期单元的尺寸一般在百纳米量级，而且不同形状所激发的共振强度不同。飞秒激光加工技术具有无需掩膜、速度快等特点，被视为未来推动亚波长周期结构发展的主要技术，但是由于激光经过透镜聚焦后是圆形高斯光斑，又由于大数值孔径聚焦透镜的工作聚焦短，因此飞秒激光加工的形状很难改变。本发明通过采用大数值孔径、背向加工等技术将飞秒激光加工尺寸控制在小于亚波长微结构单元尺寸的三分之一以内，进一步通过扫描拼接的方式实现不同形状微结构的加工，如长方形、正方形、椭圆等。本发明解决了飞秒激光加工亚波长周期结构单元形状控制难的问题。