基于光学相干成像的镜头可靠性前后无损检测方法与装置

摘要

本发明公开了一种基于光学相干成像的镜头可靠性前后无损检测方法与装置。利用光学相干层析扫描装置对可靠性测试前后的镜头进行扫描，获取可靠性测试前后镜头的三维散射信号。根据三维散射信号的强度信息，识别镜头各镜片的前后表面，计算出可靠性测试前后镜头的三维结构变化(微米量级)。根据可靠性测试前后镜片位置处的相位变化，计算出可靠性测试前后镜头的三维结构变化(纳米量级)。本发明具有无接触、高精度、实时测量等优点，可以在短时间内测量出镜头内镜片相对位置的纳米精度的变化。