BPMA的分区聚焦测量方法

摘要

本发明公开了一种BPMA的分区聚焦测量方法，在样品有效测量范围划分出9个或21个分区，分别在每个分区的中心分别聚焦，记录每个分区的电镜条件；聚焦完成后，BPMA软件开始样品测量，根据不同分区的不同的电镜条件依次测量每分区，所述电镜条件包括电镜的工作距离；多个分区测量均完成后，保存一个测量数据文件。采用在一个样品的测量面上分区聚焦测量的方法解决样品轻度倾斜的问题。