用于制备IIIA族金属的三烷基化合物的方法

摘要

本发明涉及一种用于制备具有通式R₃M(其中M＝元素周期表(PTE)IIIA族金属，优选镓或铟，并且R＝C₁‑C₅烷基，优选甲基或乙基)的三烷基金属化合物的方法。该方法是基于在存在至少一种碱金属卤化物作为辅助碱下金属三氯化物(MeCl₃)与烷基铝倍半氯化物(R₃Al₂Cl₃)的反应。将反应混合物加热至高于120℃的一个温度并且经由一个分离器将该三烷基金属化合物从该反应混合物分离，其中部分烷基化的产物同时被再循环到该反应混合物之中。在一个另外的步骤中，将该反应混合物加热至最高350℃并且分离出剩余的烷基化的和部分烷基化的产物。以此方式获得的这些产物可以任选地被循环利用于该方法之中。该方法显示出高产率的三烷基金属化合物以及还有一个高金属利用率；这些产物被用作MOCVD方法的前体。