用于以基于衍射的叠加量测为基础评估临界尺寸的系统和方法

摘要

提供了用于评估半导体器件的临界尺寸的系统和方法。示例性系统包括至少一个处理器和存储指令的至少一个存储器。所述指令在由至少一个处理器执行时使至少一个处理器执行操作。所述操作包括接收半导体器件的第一层上的第一叠加标记集合的信息以及半导体器件的第二层上的第二叠加标记集合的信息。第一层低于第二层。所述操作还包括接收从第一层和第二层上的对应叠加标记测量的多个衍射参数。所述操作还包括基于多个衍射参数来确定第二层上的临界尺寸的变化。