由光敏和/或X－射线敏传感器组成的传感器设备

摘要

本发明涉及一种大面积传感器设备，特别是一个平板状动态X-射线检测器(FDXD)。在一个基片(1)上按平面分布配置该传感器设备的光敏和/或X-射线敏传感器(像素)，由此形成一个敏感层(20)。在该层(20)的上面表面上备有用于每个传感器的接触点(23)，该接触点通过一个或多个连接层(30，40)连接到一个集成电路(6)。由此得到一个多层的非常紧凑的结构，其中按平面式样并且平行于传感器配置该电子估算电路(6)。最好，在该电路(6)中的各个估算电路与每个传感器相关，由此导致很短的路径同时还减小了噪声。