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公开/公告号CN108957611B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-05-14
原文格式PDF
申请/专利权人 歌尔股份有限公司;
申请/专利号CN201810770248.4
发明设计人 蔡孟锦;
申请日2018-07-13
分类号G02B5/18(20060101);G02B30/30(20200101);
代理机构11442 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙);
代理人王昭智;马佑平
地址 261031 山东省潍坊市高新技术开发区东方路268号
入库时间 2022-08-23 11:48:10
机译: 包括光栅结构形式的光谱滤光片的投影曝光设备的照明光学单元的反射镜和在镜子上形成光栅结构的光谱滤光片的制造方法
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