法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-02-16
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01B 11/02 授权公告日:20081203 终止日期:20091228 申请日:20061128
专利权的终止
2008-12-03
授权
授权
2007-07-25
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-05-30
公开
公开
机译: 用于剪切成像,电子散斑干涉法或其他基于激光的测量系统的设备,在测量系统的光路中,在传感器路径上或在光束进入之前安装了过滤系统
机译: 电子散斑剪切干涉法,基于使用精细结构的折射光学元件将来自测试对象的波分成两个相移波,而只需进行最小的调整
机译: 电子散斑图案干涉仪(ESPI),用于危险环境中材料位移的远程测量