一种衍射元件衍射效率的测量装置及测量方法

摘要

本发明提供的衍射元件衍射效率的测量装置及测量方法，包括：干涉仪、衍射元件及光功率计，所述光功率计放置检测背景杂光能量为E₀，所述光功率计检测入射进入所述衍射元件的入射总光强能量为E₁，所述光功率计检测经所述衍射元件后聚焦后的出射总光强能量为E₂，所述衍射元件的衍射效率为：其中，本发明提供的衍射元件衍射效率的测量装置及测量方法，应用衍射元件可以汇聚光线的特点，结合干涉仪设备，可以一次测量得到衍射元件整体的衍射效率，测试结果更加准确。