公开/公告号CN110779442B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-05-11
原文格式PDF
申请/专利权人 北京东软医疗设备有限公司;东软医疗系统股份有限公司;
申请/专利号CN201910993126.6
发明设计人 王学振;
申请日2019-10-18
分类号G01B11/00(20060101);
代理机构11415 北京博思佳知识产权代理有限公司;
代理人靳玫
地址 100193 北京市海淀区西北旺东路10号院东区22号楼1层A128
入库时间 2022-08-23 11:46:19
机译: 激光测斜仪精度测试方法及测试系统
机译: 测试设备,包括测试设备的测试系统,使用该测试设备和测试系统的测试方法以及制造集成电路的方法
机译: 测试设备测试系统,包括使用该测试设备的相同测试方法以及该测试系统和用于制造集成电路的方法