首页> 中国专利> 在其中实现一种需要控制一个腔室内气体环境的作业的设施

在其中实现一种需要控制一个腔室内气体环境的作业的设施

摘要

本发明涉及一种装置的优化,在这个装置中进行一种需要控制一个室内的气体环境的作业,作业在存在一种能够放出排放物的气体混合物的情况下进行,优化通过在室外有一个防止空气进入室内的入口装置(5)和一个防止气体排放物排出的出口装置(8)以及一个抽吸装置(4)得到,抽吸装置(4)包括流量调节装置(42),以便保持室内外的压差近似为零。本发明在工业上用于一种行进基质的表面处理。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-06-08

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 16/44 变更前: 变更后: 申请日:20011106

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

  • 2016-06-08

    专利权的转移 IPC(主分类):C23C 16/44 登记生效日:20160520 变更前: 变更后: 申请日:20011106

    专利申请权、专利权的转移

  • 2016-06-08

    专利权的转移 IPC(主分类):C23C 16/44 登记生效日:20160520 变更前: 变更后: 申请日:20011106

    专利申请权、专利权的转移

  • 2008-12-31

    授权

    授权

  • 2005-08-31

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2005-07-06

    公开

    公开

查看全部

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号