一种大尺寸复杂结构滚子轴承套圈内引导面均匀沉积TiN涂层的方法

摘要

一种大尺寸复杂结构滚子轴承套圈内引导面均匀沉积TiN涂层的方法，涉及一种轴承套圈内引导面沉积涂层的方法。目的是解决轴承套圈进行沉积TiN时非引导面的防护不充分、沉积速度低和均匀性差的问题。方法：屏蔽机构对轴承套圈内表面、轴承套圈端面和外表面进行屏蔽，将屏蔽后的轴承套圈安装在倾斜回转机构上；在多弧真空离子镀膜机中安装轴承套圈回转屏蔽系统，将两个多弧靶材安装在轴承套圈回转屏蔽系统两侧，然后依次进行检测漏率、抽真空与预加热、溅射清洗、多弧离子镀TiN和冷却降温。本发明提高了多弧靶的利用率和沉积速率，沉积厚度均匀性得到提高。本发明适用于轴承套圈内引导面沉积TiN涂层。