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一种圆环形直流VUV光电离源及应用

摘要

一种圆环形直流VUV光电离源,包括放电腔、圆环形放电电极对、供电电源;所述放电腔为径向截面圆环形中空密闭腔体,是由二个二端开口同轴心圆筒套置后、二个圆筒的二端间密闭连接构成,所述放电腔内筒采用透光材料制成作为光学窗口,于外筒靠近两端的外壁面上分别设有第一圆环状放电电极和第二圆环状放电电极及第三圆环状电极;第一圆环状放电电极和第二圆环状放电电极中一个为参考地电极,另一个为高压电极,分别与位于第一圆环状放电电极和第二圆环状放电电极中间的第三圆环状电极形成放电电极对,利用第一圆环状放电电极和第二圆环状放电电极之间的电压差产生的电场把电离反应区中形成的离子引出电离反应区。

著录项

  • 公开/公告号CN111211036B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-05-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院大连化学物理研究所;

    申请/专利号CN201811387775.3

  • 发明设计人 王卫国;黄卫;李海洋;

    申请日2018-11-21

  • 分类号H01J49/16(20060101);H01J49/26(20060101);G01N27/64(20060101);

  • 代理机构21002 沈阳科苑专利商标代理有限公司;

  • 代理人马驰

  • 地址 116023 辽宁省大连市沙河口区中山路457-41号

  • 入库时间 2022-08-23 11:43:44

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