一种抗月牙洼磨损的氮化铝钛/氧化铝复合涂层及其制备方法

摘要

本发明公布的抗月牙洼磨损的氮化铝钛/氧化铝复合涂层是由CrAlTiZrY高熵合金粘结层、α‑Cr₂O₃氧化物模板层、α‑Al₂O₃氧化物核心层、AlTiON氮氧化物衔接层、AlTiN氮化物表层五个子层构成的整体，这五个子层的顺序是由内至外，涂层总厚度为1～3.5μm。其制备方法为：基底被加热和离子刻蚀后，先利用电弧蒸发镀工艺在基底上沉积CrAlTiZrY层；然后使用阴极电弧离子镀工艺，再继续依次沉积α‑Cr₂O₃层、α‑Al₂O₃层、AlTiON层和AlTiN层。本发明的复合涂层兼具优良的抗氧化性与高耐磨性，在高速切削和干式切削加工条件下具有良好的抗月牙洼磨损能力，且工艺可控性好，易于实施。