公开/公告号CN107584187B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-04-27
原文格式PDF
申请/专利权人 湖北兆元科技有限公司;
申请/专利号CN201711050161.1
发明设计人 王标;
申请日2017-10-31
分类号B23K3/08(20060101);B23K1/08(20060101);
代理机构42225 武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙);
代理人胡娟
地址 430205 湖北省武汉市东湖高新区流芳园南路18号
入库时间 2022-08-23 11:42:30
机译: 载具,使用相同组件的两个组件,用于开发的组件,图像形成装置,过程框和图像形成方法
机译: 用于微电子装置衬底组件的机械或化学机械平面化的载具头,平面化机器和方法
机译: 用于微电子装置衬底组件的机械或化学机械平面化的载具头,平面化机器和方法