激光共焦回馈显微测量装置

摘要

本发明属于形貌测量，尤其涉及低反射率样品的非连续表面微观形貌测量技术领域，其特征在于，包含：单纵模微片激光器，依次放置在其发射端轴线上的透镜和分光镜，依次放置在分光镜反射光路上的透镜和光电探测器，依次放置在其透射光路上的移频器件和共焦光回馈模块；正弦信号发射源，输出端同时和移频器件与参考信号发生电路的输入端相连；信号调理电路，输入端和光电探测器的输出端相连；正交相敏检波器，两个输入端分别和参考信号发生电路及信号调理电路的输出端相连，而输出光功率调制信号的幅度和相位，分别用于确定样品表面上两点高度差的半波长大数和小数。本发明可同时用于连续表面以及存在大于半波长形貌突变的非连续表面的形貌测量。