结合可变形镜共焦定位的非球面误差干涉测量方法及系统

摘要

结合可变形镜共焦定位的非球面误差干涉测量方法及系统，通过部分补偿透镜和可变形镜，建立结合可变形镜共焦定位的非球面参数误差干涉测量系统，可变形镜作为会聚反射镜，不需要移动会聚反射镜，避免了在非球面参数误差干涉测量方法中，需要通过移动消球差透镜组来确定被测非球面的初始位置，从而更加准确地确定被测面和部分补偿透镜的相对位置，进而提高测量非球面的面型参数误差的测量精度，且能够实现非接触、全口径、速度快、精度高的测量，具有无需扫描系统、结构简单的优点。