一种LNOI基光波导反向楔形模斑耦合器及制备方法

摘要

本发明公开了一种LNOI基光波导反向楔形模斑耦合器及制备方法，LNOI结构顶部的LN层作为第一波导芯层，第一波导芯层为反向楔形结构；第一波导芯层上覆盖有具有固定宽度的第二波导芯层，第二波导芯层的折射率小于第一波导芯层的折射率。本发明利用波导结构光传输芯层在高度和宽度的变化，实现在垂直和水平方向上对入射光的扩展或者压缩，达到亚微米尺寸光波导器件与光芯片或者单模光纤的高效耦合的目的；本发明可以实现LNOI基光波导与光芯片或单模光纤的直接端面耦合，提高二者的模斑匹配度，有利于大规模光路的集成。