前体溶液及制造方法、PZTN复合氧化物膜的制造方法

摘要

本发明提供前体溶液的制造方法，是用于采用溶胶凝胶法形成将Pb、Zr、Ti以及Nb作为构成元素的PZTN复合氧化物的前体溶液的制造方法，包括：至少将羧酸铅溶解于具有烷氧基的有机溶剂中形成第1溶液的工序；加热处理上述第1溶液而除去上述羧酸铅的结晶水，同时通过该羧酸铅与具有上述烷氧基的有机溶剂的配位基取代反应，形成醇铅，从而形成含有该醇铅的第2溶液的工序；在上述第2溶液中混合从Pb以外的Zr、Ti以及Nb中选择的至少1种的金属醇盐，形成含有Pb、Zr、Ti以及Nb的各自的金属醇盐的第3溶液的工序；在上述第3溶液中加水，进行上述金属醇盐的水解、缩合，从而形成含有PZTN复合氧化物的前体的第4溶液的工序。