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一种具有空间环境适应性的超润滑固体薄膜

摘要

本发明属于超润滑薄膜技术领域,涉及一种具有空间环境适应性的超润滑固体薄膜。所述薄膜由依次位于基体上的防氢扩散层、储氢中间层和超润滑功能层组成;所述防氢扩散层为最大晶面间距小于0.25nm的致密物;所述储氢中间层为脱氢温度高于空间环境温度的储氢材料,所述超润滑功能层的材料包括a‑C:H。所述薄膜在寿命、摩擦系数稳定性等方面可满足航天器活动零部件的使用需求。

著录项

  • 公开/公告号CN109811322B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-03-23

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 兰州空间技术物理研究所;

    申请/专利号CN201811578150.5

  • 申请日2018-12-20

  • 分类号C23C14/35(20060101);C23C14/06(20060101);C23C14/08(20060101);

  • 代理机构11120 北京理工大学专利中心;

  • 代理人张洁;仇蕾安

  • 地址 730000 甘肃省兰州市城关区渭源路97号

  • 入库时间 2022-08-23 11:36:26

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