一种大功率射频芯片的竖立放置液冷散热结构及其制作方法

摘要

本发明公开了一种大功率射频芯片的竖立放置液冷散热结构及其制作方法，包括散热结构、底座结构，底座结构上设置安置散热结构的安置槽和散热通道，散热通道均匀分布设置在安置槽一侧，安置槽和散热通道联通；散热结构包括第一圆柱形TSV孔、凹槽，第一圆柱形TSV孔与凹槽联通；第一圆柱形TSV孔与散热通道联通；本发明提供能够大大加强散热器跟射频模组互联的稳定性的一种大功率射频芯片的竖立放置液冷散热结构及其制作方法。