一种AlGaN单极载流子日盲紫外探测器及其制备方法

摘要

本发明提供的AlGaN单极载流子日盲紫外探测器，基于AlGaN极化效应，利用p‑Al_zGa_1‑zN/i‑Al_yGa_1‑yN‑Al_xGa_1‑xN(0.45＝zGa_1‑zN/i‑Al_yGa_1‑yN异质结的价带带阶有效限制空穴进入吸收区与电子复合，提高载流子寿命；与此同时，在器件制备时设计结构，令光生空穴难以参与到光电导中，实现电子单极导电，从而获得高响应速度和高增益电流。