一种提高四探针RS测试准确性的方法

摘要

本发明涉及一种提高四探针RS测试准确性的方法，包括：步骤1：检查四探针测量设备的探针状态；步骤2：将需要检测RS的硅片传送到四探针测量设备的载片台上面；步骤3：调节探针在硅片上的扎针深度，确定扎针基准面；步骤4：在硅片上选取一点进行单点RS测试，获取该点的多个扎针深度和每个扎针深度所对应的RS值；步骤5：绘制扎针深度与RS之间的关系曲线；步骤6：根据关系曲线确定最佳扎针深度。本发明可以根据扎针深度与RS值之间的对应关系，能够快速准确的使四探针测量设备对待测硅片进行扎针，并能确保该扎针深度下获得稳定和准确的RS值，真实反应离子注入机等设备的运行状况，提高了离子注入机的利用率和可信度，对产生过程有着重要意义。