公开/公告号CN109791038B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-02-26
原文格式PDF
申请/专利权人 科磊股份有限公司;
申请/专利号CN201780056846.9
申请日2017-08-08
分类号G01B11/02(20060101);G01B9/04(20060101);G01B11/24(20060101);G06T1/00(20060101);G06T7/60(20170101);
代理机构11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司;
代理人刘丽楠
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 11:33:11
机译: 光学测量台阶尺寸和电镀金属厚度
机译: 台阶尺寸和镀金属厚度的光学测量
机译: 光学测量台阶尺寸和电镀金属厚度