一种利用铟磷混合物制备磷化铟晶体的方法

摘要

本发明一种利用铟磷混合物制备磷化铟晶体的方法，属于半导体技术领域，包括制备铟磷混合球、装料、保持高炉压和铟磷混合球低温、熔化覆盖剂、投料、合成与晶体生长步骤，是利用配比好的铟磷混合球直接熔化进行合成。将铟粉和磷粉混和均匀并压制成球状铟磷混合颗粒，再将铟磷混合球与氧化硼粉的混合物投入到具有氧化硼覆盖剂的熔体中，合成后原位进行晶体生长。该方法具有反应时间短、效率高、节省原材料的优点，并且可有效降低材料被沾污的风险，节省工序，降低材料制备成本。