声表面波湿度传感器及其制作方法

摘要

本发明涉及一种声表面波湿度传感器及其制作方法。该声表面波湿度传感器，设在衬底上表面的压电薄膜、设在压电薄膜上表面的叉指电极和ZnO纳米线/石墨烯量子点复合结构敏感层；其中，涂覆在叉指电极的上表面和/或压电薄膜未被叉指电极覆盖的上表面的ZnO纳米线/石墨烯量子点复合结构敏感层由以下步骤实现：将纳米线粉末和石墨烯量子点溶液按照物料比1‑5mg:50‑2000μL混合，并加入子水稀释，超声分散得到敏感溶液；将敏感溶液涂在声表面波器件上并烘干即可。该声表面波湿度传感器的灵敏度高达40.16kHz/％RH。本发明还包括上述声表面波湿度传感器的制作方法。