一种全介质偏振无关的角度滤波器

摘要

本发明提出了具有由半导体兼容的硅/二氧化硅对组成的一维（1D）光子晶体（PC）的全介质偏振无关的角度滤波器。利用p和s偏振分量近似对称的能带分布和法布里‑珀罗（F‑P）共振，实现了用于正入射的高效的偏振无关角度滤波。在大面积（5cm×5cm）范围利用真空磁控溅射读博设计和实验制备了角度滤波器。实验测量表明，波长为1550 nm处的角度滤波样品的偏振无关透射光束的发散角仅为2.2°，正入射时的透射率高达0.8。所提出的角度滤波器提出了以简单的结构和易于制造的方式来设计和实现半导体兼容的全电介质和偏振无关角滤波器的有效方法，其在照明、光束操纵、光耦合和光通信方面有着广泛的潜在应用。