公开/公告号CN108037142B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-01-19
原文格式PDF
申请/专利权人 江苏维普光电科技有限公司;
申请/专利号CN201711262401.4
申请日2017-12-04
分类号G01N21/956(20060101);G01N21/88(20060101);
代理机构32308 常州兴瑞专利代理事务所(普通合伙);
代理人肖兴坤
地址 213000 江苏省常州市新北区华山路18号
入库时间 2022-08-23 11:29:25
机译: 缺陷掩膜的缺陷检测方法分选方法和生产方法
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机译: 光学膜缺陷检测系统和光学膜缺陷检测方法{用于检测光学膜缺陷的系统和方法}