基于混合阶有限元的三维集成电路电磁场计算方法及装置

摘要

本申请实施例公开了基于混合阶有限元的三维集成电路电磁场计算方法及装置。该方法包括根据Delaunay网格剖分算法获得三维超大规模集成电路多尺度版图的第一四面体网格；确定网格中网格单元边长最大值，基于此，对第一四面体网格进行网格细分形成第二四面体网格；基于此，建立一阶单元及其有限元刚度矩阵，并根据场路耦合求解三维超大规模集成电路电磁场的初始值；基于第二四面体网格，根据所述电磁场的初始值变化速度超过和不超过预设值的网格单元以及三维集成电路版图小尺度区域的网格单元，建立混合阶单元；根据混合阶单元建立有限元刚度矩阵，计算三维超大规模集成电路电磁场。本申请可以提高三维超大规模集成电路电磁场的计算精度，且计算效率高。