一种基于微纳光纤的微流控芯片流速传感器

摘要

本发明公开了一种基于微纳光纤的微流控芯片流速传感器，包括微流控芯片、微纳光纤和柔性薄膜，柔性薄膜的厚度小于等于100μm，所述柔性薄膜的折射率小于微纳光纤的折射率；柔性薄膜包覆微流控芯片的流体通道，并且柔性薄膜在流体通道的入口和出口处分别设有开口，流体通道的待测位置处有微纳光纤的拉伸部分横跨流体通道，微纳光纤的拉伸部分、拉锥过渡区以及两端未拉伸部分的局部包埋于柔性薄膜内。当流体通道中流体流动时，柔性薄膜受到压力向外弯曲，由于微纳光纤的弯曲损耗的增加，输出光强信号随之变小，从而实现流速传感。本发明可以实现多点流速探测，并能对已存在的微流控芯片进行流速探测，实现高灵敏度的流速传感。