提供两个加速度检测轴和一个角速度检测轴的微加工多传感器

摘要

一种微加工多传感器(300)，其提供两个加速度检测轴和一个角速度检测轴。该多传感器包括刚性加速计框架(330)、第一检验质量块(332)和第二检验质量块(334)。衬底具有在衬底平面中的两个关联的加速度轴(Y，X)和垂直于加速度轴的一个关联的旋转轴(Z)。检验质量块具有共同的振动轴(x)，该振动轴垂直于旋转轴(Z)。该多传感器还包括使检验质量块反相振动的驱动电极结构(246.1-246.2，248.1-248.2)、沿其中一个加速度轴布置的第一对加速度检测电极结构(A，B)、和沿另一个加速度轴布置的第二对加速度检测电极结构(C，D)。该多传感器(314，318)将由各个检测电极对产生的检测信号相加以提取与沿着加速度轴的加速度检测相关的信息，并且将由各个检测电极对产生的检测信号的差值(316，320)相加(322)以提取与相对于旋转轴的角速度检测相关的信息。