一种基于PSD的多光束同步二维位置检测方法

摘要

本发明涉及一种基于PSD的多光束同步二维位置检测方法，包括以下步骤：多个靶标光源同时发出的调制光束在PSD探测器靶面上形成多个光斑；PSD探测器将多个光斑转换为多个频率叠加的混合电流信号输出，经信号调理后转换成数字信号；采用双外差异步解调算法将多个频率叠加的数字信号解调还原为多路调制光束的幅值，并通过归一化同步得出多个光斑的二维位置。