一种集成的探针诊断系统电路模块、诊断系统及诊断方法

摘要

本发明属于等离子体诊断领域，涉及一种集成的探针诊断系统电路模块、诊断系统及诊断方法。等离子体诊断是用实验方法测定等离子体参量的技术，是研究等离子体物理性质的重要手段。诊断的方法有探针法、微波法、激光法、光谱法、光学法和粒子束法，其中探针法最为常用。通过探针法可以获得等离子体的电子温度、电子浓度、离子浓度、饱和离子电流密度、空间电位等等离子体参数。常用的探针包括Langmuir探针，及其变体——Faraday探针、发射探针。本发明提出一种集成的探针诊断系统电路模块，该模块将上述探针电路整合到一起，并且统一对信号进行屏蔽，可以大大简化探针的使用流程。