基于圆条纹径向空间载波相移的三维实时显微测量方法

摘要

本发明公开了一种基于圆条纹径向空间载波相移的三维实时显微测量方法。此方法的系统基于体式显微镜，投影模块通过显微镜光路向被测物体投影圆形条纹，相机同步拍摄变形条纹图。本方法将采集得到的一幅变形图像经数字相移得到的另外两幅相移图像，与原始图像构成新的三幅具有相移量的变形条纹图，并经过径向空间载波相移算法获得物体相位。与传统的载波相移法相比，该方法具有较低的相位误差和较高的精度。最后将其运用到实时显微测量中，提高了测量精度和测量速度。