公开/公告号CN108139579B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-12-29
原文格式PDF
申请/专利权人 徕卡仪器(新加坡)有限公司;
申请/专利号CN201680057068.0
申请日2016-10-14
分类号G02B21/18(20060101);G02B21/36(20060101);
代理机构11201 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人宋融冰
地址 新加坡新加坡城
入库时间 2022-08-23 11:26:51
机译: 分束器设备,包括至少两个分束表面,它们具有不同的反射与透射比
机译: 具有至少两个具有不同反射率和透射率的分束面的分束器装置
机译: 投影曝光系统中使用的偏振测量装置的分束器,具有用于分离在光束部分的分束表面处反射的入射光束的分束表面,并且具有弯曲的形式。