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微型LED显示面板的制备方法和微型LED显示面板

摘要

本发明公开了一种微型LED显示面板的制备方法和微型LED显示面板。其中,微型LED显示面板的制备方法包括:在第一衬底上形成掩膜层,并在掩膜层上形成呈阵列排布的开孔;在每个开孔处生长LED外延结构;在掩膜层靠近LED外延结构的一侧,形成与每个LED外延结构中的第二类型半导体层对应电连接的第二电极;将LED外延结构转移到第二衬底上;剥离第一衬底;在掩膜层远离LED外延结构的一侧,形成与每个LED外延结构中的第一类型半导体层对应电连接的第一电极;将LED外延结构通过第一电极邦定至目标基板上;剥离第二衬底。本发明解决了微型LED在巨量转移时邦定难度高的问题,提高了巨量转移良率及效率。

著录项

  • 公开/公告号CN109994579B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-12-25

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 成都辰显光电有限公司;

    申请/专利号CN201910364349.6

  • 申请日2019-04-30

  • 分类号H01L33/00(20100101);H01L27/15(20060101);

  • 代理机构11659 北京远智汇知识产权代理有限公司;

  • 代理人张海英

  • 地址 611731 四川省成都市高新区天映路146号

  • 入库时间 2022-08-23 11:26:40

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