移位测量装置、测量系统及移位测量方法

摘要

本发明提供一种能够高精度地测量至测量对象面的距离的移位测量装置、测量系统及移位测量方法。本发明的移位测量装置具备：投光部，产生光；传感器头，对测定值与实际移位成为非线形的测量对象物，以在测量对象物的测量对象面形成焦点的方式照射光，且接收所照射的所述光中在所述测量对象面反射的光；存储部，存储着将传感器头与测量对象面之间的距离设为变量的函数；以及控制部，基于由传感器头所接收到的光的波长而算出距离。控制部将传感器头与测量对象物的测量对象面之间的距离设为变量的值，算出函数的值。控制部使用算出的函数的值，对算出的距离进行校正。