一种水三相点微型校准源芯片的制备方法

摘要

本发明属于半导体器件及其制备工艺技术领域，涉及一种水三相点微型校准源芯片的制备工艺，利用晶片键合技术加工制成水三相点微型校准源芯片，用于对温度传感器的原位实时校准，减小了水三相点瓶的体积；水三相点微型校准源芯片的制备工艺过程包括刻蚀二氧化硅壳、刻蚀微流道、清洗基片、基片键合、高温退火、减薄与切片、水体充灌和微流道密封；其设计的芯片结构科学合理，工艺简单，材料选择广泛，性能稳定可靠，应用领域广泛，温敏效果显著，制备工艺和设备简单，技术手段成熟，节省能源，应用环境友好。