一种光学外差法腔衰荡光谱测量装置及方法

摘要

本发明实施例公开了一种光学外差法腔衰荡光谱测量装置及方法。该测量装置包括用于产生激光光束的激光光源，调制光路机构，用于接收经过调制光路机构调制后的激光光束并将激光光束发生干涉叠加的无源谐振腔，用于接收所述干涉叠加后的激光光束并产生电信号的光学外差探测机构，接收所述电信号并判断所述电信号与预设阈值的关系的数据处理机构，若电信号大于所述预设阈值时，数据处理机构发出关断所述激光光源的指令并通过数据采集电路采集、描绘衰荡曲线及计算待测痕量物质浓度。该测量装置及方法能够提高测量精度、操作简单且成本低。