一种快速制备表面周期结构方法

摘要

本发明公开了一种快速制备表面周期结构方法，包括中心线重合、且依次布设的飞秒激光器和扩束系统，设置在飞秒激光器与扩束系统之间、且沿光线传输方向依次布设的半波片和格兰泰勒棱镜，以及设置在扩束系统后、用于形成尺寸可调的空心聚焦光束的空心聚焦元器件。制备表面周期结构方法包括以下步骤：利用飞秒激光器产生激光束，并经半波片调整入射的激光束的激光强度和经格兰泰勒棱镜调整激光束的偏振方向；利用扩束系统扩展激光束；调整空心聚焦元器件的物距，以连续改变空心聚焦光束半径并进行极坐标径向扫描。通过上述方案，本发明具有结构简单、制备效率高等优点，在微纳结构制备技术领域具有很高的实用价值和推广价值。