使用LED光源对透镜组进行非接触测量的光路及方法

摘要

本发明公开了使用LED光源对透镜组进行非接触测量的光路及方法,包括光源、前端监测光路，探测光路、后端监测光路、测量组件、反射镜，以及被测光学件；测量组件包括在同一光轴上依次设置的准直镜组、滤光片、第四分光立方棱镜、第六分光立方棱镜、第九分光立方棱镜、调焦光路，测量组件形成沿光轴方向的测量光路。本发明实施例提供的光路，通过调整反射镜的位置以改变探测光路中的光程。在反射镜移动过程中，记录探测光路得到的两次峰值信号时的反射镜的位移，得到被测光学件厚度对应的空气间隔；使用宽波段的单色LED光源，同时采用前端监测光路和后端监测光路来对LED光源进行监测，以在降低成本的同时保证测量精度。